销售PECVD石墨舟
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石墨舟核心技术
·二次纯化工艺，直接提高材料的纯度，长周期工况条件下，石墨舟各点电阻率仍保持优异的均匀一致性，保证电流均匀，降低镀膜色差，同时有效减缓石墨舟的氧化，提高寿命。舟叶表面C-coating涂层工艺，舟页表面平面度、光洁度更好，使舟页和硅片之间接触面积更大
石墨舟核心技术
·二次纯化工艺，直接提高材料的纯度，长周期工况条件下，石墨舟各点电阻率仍保持优异的均匀一致性，保证电流均匀，降低镀膜色差，同时有效减缓石墨舟的氧化，提高寿命。舟叶表面C-coating涂层工艺，舟页表面平面度、光洁度更好，使舟页和硅片之间接触面积更大